最新公告:广东省科学院半导体研究所微纳加工平台面向国内外科研机构和企业提供全方位的开放服务,为广大客户提供高品质服务
工艺能力
支持2-6英寸工艺(部分8英寸),上下游设备配套SERVICEAbout Us
关于我们专业
结构合理、高水平的人才队伍,经验丰富的研发人员稳定
用高标准、严要求保障平台的稳定与安全运行高效
制定标准化的服务流程,快速响应需求合作共赢
可探讨多种合作模式,共同推动行业的良性发展服务案例
已为国内21个省市/区提供技术服务,部分服务延伸至海外CASE新闻资讯
打造高品质公共服务平台News center广东省科学院半导体研究所微纳加工平台,面向半导体光电子器件、功率电子器件、MEMS、生物芯片等前沿领域,致力于打造高品质的公益性、开放性、支撑性枢纽中心。平台拥有半导体制备工艺所需的整套仪器设备,建立了一条实验室研发线和一条中试线,加工尺寸覆盖2-6英寸(部分8英寸),同时形成了一支与硬件有机结合的专业人才队伍。
面向国内外科研机构和企业提供全方位的开放服务
将对半导体材料与器件的深入研发给予全方位支持
为广大客户提供高品质服务
深硅刻蚀真空镀膜_磁控溅射_材料刻蚀_紫外光刻-广东省科学院半导体研究所
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