设备名称:金属电子束蒸发台
设备型号:DE400
设备厂商:美国德仪
技术指标:
1. 样品尺寸:5*2英寸、1*4英寸、1*6英寸
2. 基板加热温度: 室温-500℃可调,控温精度1℃
3. 极限真空: 2×10-8 torr
4.蒸发均匀性:<±3%
工艺特点:
一炉可以依次蒸镀8钟不同金属;
可以蒸镀高熔点金属Pt、W等;
带有预腔室,保证腔体高真空,形成高质量薄膜;
带有Ar等离子清洗功能,保证薄膜和基底高粘附性
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