设备名称:电阻蒸发台
设备型号:ZHD-300
设备厂商:北京泰科诺
工作原理:将蒸发材料加热到蒸发或升华温度,蒸发出来的原子沉积在基片表面,形成致密的薄膜。
用途:蒸发有机物/熔点低的金属薄膜/厚度较大的金属薄膜
技术指标:
1. 样品尺寸:6英寸及以下
2. 真空极限:优于2.0*10-4Pa
3.两组蒸发源,可顺序蒸发两种材料
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