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广东省科学院半导体研究所是直属于广东省科学院的23个骨干科研院所之一,是中国有色金属学会宽禁带半导体专业委员会的挂靠单位,拥有广东省固态紫外光源工程技术研究中心、宽禁带半导体材料与器件创新中心、车规级功率电子器件可靠性检测与认证中心等多个省市级平台。本院主要面向半导体照明创新应用、功率电子器件、新型显示、先进封装、机械视觉与人工智能等领域,聚焦半导体产业发展亟需的应用基础研究和产业化应用技术研发,着力打造成为推动节能环保、信息技术领域创新驱动发展的枢纽型高端平台。

本院拥有5000平方米的研发基地(其中超净实验室800平方米),拥有MOCVD、真空镀膜机等120多台/套关键设备,设备总价值逾1亿元。目前已建立材料外延、微纳加工、封装应用、分析测试四大科研平台,是国内少数拥有完整半导体工艺链的研究平台之一,研发实力雄厚,每年为逾百家企业、高校、研究院提供半导体工艺技术服务。

 


深硅刻蚀真空镀膜_磁控溅射_材料刻蚀_紫外光刻-广东省科学院半导体研究所

面向国内外科研机构和企业提供全方位的开放服务

将对半导体材料与器件的深入研发给予全方位支持

为广大客户提供高品质服务

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